分析サービス

カーエレクトロニクスやライフサイエンスの分析・解析で
研究開発をサポートします。

表面分析

EDX分析の受託サービス

試料表面に含有される元素(B~U)の定性・定量分析を実施します。

概要

エネルギー分散型X線分析(EDX)による元素分析サービスでは、電子線やX線を照射して試料に当てることで、励起される特性X線や蛍光X線のエネルギーを測定し、得られるスペクトルから試料表面の元素分析を実施致します。
試料表面のどこに、どのような元素が(定性)、どれぐらいの量(定量)含まれているかを分析することが可能です。

特徴

短時間で多元素を同時分析

SEM-EDXではB~U、ED-XRFではNa~Uの元素が短時間で同時に分析できます。

SEM-EDX分析

試料を拡大して分析部位を決定することができ、100μm以下の大きさのものでも分析が可能です。
分析深さは元素にもよりますが、拡散領域は数μm程度になります。
SEM-EDX分析では、試料に導電性が必要になる為、絶縁試料の場合は導電性の物質での蒸着が必要になりますが、低真空モードを使うことで分析が可能になります。
また、分析対象試料のどこに・どんな元素が存在しているかをカラーマッピングで表示することが可能です。

ED-XRF分析

ED-XRF分析は、試料凹凸によるX線強度変化の影響をSEM-EDXより受けにくいことが特徴です。
広い領域(φ0.3mm~φ10mm)を内部深く(金属は数十μm、樹脂は数mm程度)まで平均的に分析することが可能です。
また、蒸着などのコーディング処理が不要で、大型試料・個体・薄膜・粉体・液体など様々な形態の試料を非破壊で分析致します。

検出限界

SEM-EDXは軽元素を得意としており、元素にもよりますが検出限界は1,500ppm~2,000ppm程度になります。
ED-XRFは重元素を得意としており、元素にもよりますが検出限界はSEM-EDXより比較的小さい数百ppm程度になります。しかし、NaやMGなどの軽元素は数%オーダーが無いと検出できないことがあります。

設備紹介

用途

はんだ接合部の成分分析

溶接断面の成分分析(レーザー・TIG・アーク・スポット・抵抗・EBなど)

付着異物分析

SEM-EDX

・メッキの断面分析(ニッケル・金・銀・亜鉛・クロムなど)
・錆の成分分析
・無機物質のおおまかな材料判定(SUS・アルミ・セラミックなど)
・金属製品の腐食液進入状態確認
・熱処理品の断面分析(高周波・アニール・TIC・浸炭・真空など)

ED-XRF

・大型試料の分析
・樹脂、ゴム中の無機添加物分析
・異物分析
・多層膜の非破壊測定
・岩石、土壌、セラミックス、焼却灰などの粉体分析
・液体中の無機添加物分析
・RoHSスクリーニング分析(Cd、Pb、Hg、Cr、Brと樹脂中のCl)

報告書例

  • 表紙

  • 分析方法・条件

  • 分析結果①

  • 分析結果②

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Q&A

EDXとWDXはどのような違いがありますか?
以下の比較表をご参照下さい。EDXは多元素同時測定が可能なため、短時間での測定が可能です。ただし、WDXと比較して定量精度は1桁程度悪くなります。
分析可能な試料サイズはどれぐらいですか?
分析可能な範囲は下記の通りです。
・汎用SEM:XY方向⇒最大φ180mm、Z方向⇒最大70mm。
・FE-SEM:XY方向⇒最大70×50mm、Z方向⇒最大25mm。
・ED-XRF:XY方向⇒最大300×275mm、Z方向⇒最大100mm。※4隅のR部除く。
(※試料室内に入れるだけであれば汎用SEMはφ300mmまで投入可能です。)
カラーマッピングは何ができるのですか?(SEM-EDXのみ)
ポイント毎の元素分析結果から、「測定面での各元素の分布状態」と「元素毎の含有率の差」をカラーマッピングにて表現することが可能です。
【測定例】
図はSnのカラーマッピング結果です。左のバーで明るい色になるほど含有率が高くなります。下の青色の部分には、Snが少量ながら拡散している状態がわかります。
非導電性の製品でも分析は可能ですか?
はい、可能です。試料表面に金属粒子の蒸着を行うことで、試料台との導通をとります。蒸着が不可の場合、汎用のSEMの低真空モードにて無蒸着での分析も可能です。
蒸着の金属粒子の種類はC(カーボン)、Au(金)、Pt&Pd(白金・パラジウム)になります。
ED-XRFであれば前処理無しで分析可能です。

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