分析サービス

カーエレクトロニクスやライフサイエンスの分析・解析で
研究開発をサポートします。

表面観察

走査電子顕微鏡観察の受託サービス

SEM/FE-SEMによる高倍率での表面形態観察を実施します。

概要

走査電子顕微鏡観察サービスでは、SEMやFE-SEMを使用して、試料の表面の高倍率形態観察を行います。
SEM観察では表面の凹凸状態だけでなく、組成の分布状態、結晶粒子の状態等の観察も実施可能です。FE-SEM観察では走査型電子顕微鏡(SEM)より高倍率での観察が可能で、さらにEBSDによる結晶方位解析も実施可能です。また、SEM/FE-SEMに付属するEDXにて、元素分析を行うことも可能です。
JTLでは、SEM/FE-SEMによる観察・分析の前後に必要な工程である、評価試験や断面研磨、寸法測定等のサービスも合わせて受託致します。

特徴

低倍率から高倍率(約300,000倍)までの観察

汎用型のSEMだけでなく、電界放射型の電子銃を搭載したFE-SEMを所有しているため、低倍率(数倍)から高倍率(約300,000倍)までの幅広い倍率での観察が可能です。
それ以上の倍率での観察をご希望の場合、TEM観察のサービスも実施しております。

大型試料の観察

汎用型SEMで観察できる範囲はφ180mm×t70mmですが、装置に投入可能な試料サイズは約φ300mm×t70mmになります。
FE-SEMの観察可能な試料寸法は70×50×t25mmまでとなります。

低真空モードでの観察

汎用型SEMでは低真空モードでの観察が可能ですので、ガスが出やすい試料や蒸着しても帯電しやすい試料、蒸着無しでは観察が困難な試料(絶縁体や水・油を含んだ試料等)でも、SEM観察を行うことが可能です。

EDX(エネルギー分散型分析装置)による元素分析

SEM・FE-SEMにはともにEDXが装着されており、試料表面を構成する元素の種類・量・分布状態を調査することが可能です。
EDXによる元素分析の定量精度はおおよそコンマ数%オーダーとなります。

EBSDによる結晶方位解析

EBSD(電子線後方散乱回折法)を利用して結晶性試料の組織解析が可能です。

設備紹介

用途

溶接部の溶け込み部の断面観察

【機械研磨→SEM観察】

金属材料の結晶状態の観察

【イオンミリング→FE-SEM観察】

メッキの断面観察・分析

【イオンミリング→FE-SEM観察】

はんだ接合部の観察・分析

【イオンミリング→FE-SEM観察】

【機械研磨→EDXマッピング】

セラミック材料のマイクロクラック観察

【SEM観察】

EBSDによる結晶方位解析

・金属プレートの破損部周辺の結晶組織解析
・カシメ部めっきの結晶組織解析
・結晶粒内クラック周辺の結晶方位解析
・はんだの試験前後品の結晶組織変化の解析
・セラミックス品の結晶方位配向性解析
・溶接部破損部の結晶組織解析

その他

・付着物・異物の観察・分析
・錆発生箇所の観察・分析
・金属材料の破断面の観察
・金属製品の腐食液の進入状態の確認
・端子カシメ部の形状確認・加工率測定
・溶接品(レーザー・TIG・アーク・スポット・抵抗等)の表面・断面調査
・熱処理品(高周波・アニール・TIC・浸炭・真空等)の表面・断面調査

報告書例

  • 表紙

  • 観察方法・条件

  • 観察結果

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Q&A

どれくらいの倍率での観察が可能ですか?
汎用型のSEMであれば20,000倍程度まで、FE-SEMであれば300,000倍程度までが有効観察倍率になります。
それ以上の高倍率での観察は透過電子顕微鏡(TEM)にてご対応致します。
観察条件の指定は必要でしょうか?
基本はご指示いただいた条件にて観察を行いますが、条件が決定できない場合は任意で撮影を行いまして、再度、観察箇所や倍率などのご相談をさせていただきます。
SEMでの計測は何ができますか?
寸法測定は対応可能です。面積計算は画像処理した写真からの算出になります。
データはどのような形式でいただけますか?
ご指定のフォーマットもしくは弊社のフォーマットにて報告書を作成致します。ご希望があればエクセルでのデータの提出も可能です。
また写真の元データもJPEG・BMPの形式で提出可能です。
試料の調整(前処理・断面研磨等)から作業を依頼することは可能ですか?
切断・研磨・エッチング・イオンミリング等の設備を所有しておりますので、観察・分析の前処理が可能です。
また蒸着は条件・目的に応じまして、カーボン(C)、金(Au)、白金(Pt)、白金‐パラジウム(Pt‐Pd)、オスミウム(Os)から選択させていただきます。
SEM/FE-SEM以外の設備による観察は可能ですか?
金属顕微鏡(~1,000倍)、デジタルマイクロスコープ(~5,000倍)、TEM(~約1,500,000倍)等、各種設備にて対応が可能です。

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