分析サービス

カーエレクトロニクスやライフサイエンスの分析・解析で
研究開発をサポートします。

表面分析

WDX分析の受託サービス

材料分析・異物分析に適した微量元素・軽元素の分析を実施します。

概要

EPMA、FE-EPMAの分析方法である波長分散型X線分析法(WDX)を用いて、微量元素・軽元素の受託分析サービスを実施致します。
WDX装置はエネルギー分散型X線分析装置(EDX)よりも波長分解能が優れており、微量元素や軽元素の検出感度が高い分析が可能です。
そのため金属材料の判別や微量元素の拡散状態の分析、異物の分析等の微量元素分析にご利用いただけます。

特徴

優れたエネルギー分解能

エネルギー分解能が10eV程度と高いため、EDXでは分離不可能なピークの解析も可能です。

微量元素(±数100ppm~数1,000ppmの定量精度)の分析

分光結晶のチャンネル1つに対して1元素を分析することから、±数100ppm~数1,000ppm(0.01~0.1%オーダー)の微量な元素の分析に適しています。
微量元素の拡散状態の分析などの実施が可能です。

微量元素・軽元素の高感度検出

微量元素は100ppm(0.01%)程度の検出限界になります。(※元素によって異なります。)
軽元素の高感度分析用の分光結晶も装備されていますので、B~Uまでの元素の高精度な定量が可能です。

微小領域(サブミクロンオーダー)の分析空間分解能

FE-EPMAは電解放射(FE)型電子銃を採用しており、低加速電圧、WDX分析電流範囲 (10~100 nA) でも微小プローブが得られるため、低加速電圧を用いた高いX線空間分解能の分析が可能です。
サブミクロンオーダーまで分析領域が絞れるため、30,000倍程度でのマッピングも実施可能です。

多彩な分析手法

EPMAによる分析では、像撮影(二次電子像、反射電子像他)、定性・定量分析、線分析、面分析、状態分析が可能です。

設備紹介

  • 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)

    もっと詳しく

用途

はんだ中の微量成分の分布状態分析

Pbフリーはんだの二次電子像とFE-EPMAによるマッピング(8kV,10nA)

合金層の断面観察・成分分析・マッピング

合金層の反射電子組成像とFE-EPMAによるマッピング

メッキの断面観察・成分分析・マッピング

厚み数10nmのAu薄膜のマッピング

溶接部の断面金属組織観察・成分分析・マッピング

鉱物の断面観察・成分分析・マッピング

ネオジム磁石のマッピング分析

Liイオン電池電極のマッピング分析

浸炭分析

金属組織のマッピング分析(フェライト、パーライト、Cr欠乏)

鉛フリーはんだのマッピング分析

報告書例

  • 表紙

  • 分析方法・条件①

  • 分析方法・条件②

  • 分析箇所観察

  • 定性分析結果

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Q&A

試料の状態・形状に制約はありますか?
【FE-EPMA】
・ガスや水分が発生しない固体・粉体に対応。
・試料表面の凹凸はNG。
・最大搭載試料寸法:100×100×H20mm。最大分析領域:90×90mm。
試料調整からお願いしたのですが、対応は可能ですか?
カット・断面研磨・エッチング・蒸着・ガラスビード作製等の各種試料調整に対応しております。
10,000倍を超える観察・分析には、イオンミリング(CP加工)による断面仕上げを行います。サブミクロンオーダーの解析にもご利用いただけます。
微量元素の検出限界・定量精度はどれぐらいですか?
元素によって異なりますが、100ppm(0.01%)程度の検出限界、±数100ppm~数1,000ppm(0.01~0.1%オーダー)程度の定量精度になります。
軽元素の分析は可能ですか?
B~Uの元素の検出が可能です。高感度分析用の分光結晶により、微量な軽元素の検出も可能です。
より定量精度の良い分析は可能ですか?
湿式分析(ICP-AES・ICP-MS等)や、GC・HPLCなどの微量元素分析にも対応しておりますので、まずはお問い合せ下さい。

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