分析サービス

カーエレクトロニクスやライフサイエンスの分析・解析で
研究開発をサポートします。

内部構造観察

X線透過観察の受託サービス

X線透過により製品・部品の内部構造状態を非破壊で観察します。

概要

X線透過観察サービスでは、X線での非破壊観察により試料の内部構造を観察・検査・計測を行うことができます。電子部品や実装部品などの不具合解析によく用いられる手法です。
JTLでは、電子デバイスの他に各種素材、部品・製品形状の試料について、内部構造観察から不具合の多数個検査まで幅広いニーズにご対応します。

特徴

最小焦点寸法:0.25μmでの高分解能観察

焦点寸法が最小で0.25μm(理論値)であるため、数ミクロン~数10ミクロンオーダーでの高分解能観察を行うことが可能です。

X線管電圧:30kV~160kVの幅広い透過力

X線管電圧が30kVから160kVまでと装置によってX線の透過力が異なり、試料のサイズ・評価目的に応じた幅広い観察に対応しております。

多方向からの観察

検出器(I.I.管)は最大70°まで傾動、サンプルを中心に360°回転するため、高倍率を損なうことなく多方向からの観察が可能です。

各種の寸法測定機能

寸法測定、面積測定(専用ソフトwinroofにて)の実施が可能です。

多数個サンプルの自動検査が可能

大型テーブルと自動撮影プログラムを使用することで、多数個サンプルの自動撮影、不具合品の選別などの検査が可能です。

X線透過装置の構造

X線は電波や太陽の光と同じ電磁波の一種です。
電磁波は空気中や物質の中を一定の波長を打ちながら直進する性質があります。また波長が短いため物質を透過する性質を持ち、密度の高いものは透過しにくく、逆に低いものは透過しやすいと言った性質があります。
X線管からX線を発生させ、試料を透過したX線をI.I.管にて可視光像に変換し、観察を行います。

設備紹介

用途

各種電子デバイス(チップ部品・BGA等)の接合状態確認・ボイド率等の計測

ワイヤーボンディングの断線確認・ワイヤーの流れ率の計測

その他

・基板の配線パターンの確認
・樹脂材料の内部ボイド調査
・樹脂材料内のガラス繊維の配向確認(※一部可)
・樹脂・セラミック材料の内部異物検査
・アルミ鋳造品の内部ボイド調査
・組み付け部品の勘合状態の確認(加締め状態など)
・量産品の不良検査(プログラム作成による多数個測定)

報告書例

  • 表紙

  • 観察方法・条件

  • 観察結果

Q&A

どんな物(材質・サイズ)でも透過観察できますか?
X線の透過量は材料の密度と厚みに依存します。
厚みが厚く密度が高いものは透過しにくく、厚みが薄く密度が低いものは透過しやすくなります。よって、銅や鉄などの重金属の内部は観察が難しくなります。
トライ観察も行っておりますので、まずはご相談下さい。
X線透過像でのボイド率の計算は可能ですか?
算出ソフトを使うことで可能ですが、ボイドの自動検出機能はありませんので目視による参考値程度になります。
X線透過像での寸法測定は可能ですか?
高さのあるものは困難ですが、薄く平らなものであれば可能です。測定誤差は±5%以内になります。
立会いでの観察は可能ですか?
はい、ご対応可能です。お客様の立会い・ご指示のもと、観察作業を実施致します。薄く平らなものが対象となります。
X線透過撮影とX線CT撮影の違いは?
X線透過撮影は、一方向からの2次元的な透過画像となります。
X線CT撮影は、サンプルを回転させて360°分のX線透過画像を取り込みます。その画像をソフトで3D構築することで、立体的(3次元的)な表現が可能になります。

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