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イオン濃度測定による清浄度評価

関連キーワード
IC(イオンクロマトグラフ)
ICP-MS(ICP質量分析装置)
元素分析
機器分析

Introduction

精密機器や電子部品等の生産において、イオン性成分はエッチング不良や腐食を引き起こし、歩留まりや故障の原因となります。
製品や部品の表面に付着するイオン残渣の分析には抽出試験が用いられます。
製品の品質や信頼性を維持するためには、清浄度、洗浄度を評価するとともに、汚染の原因を調査することが重要です。

Method

超純水により1時間の加温、抽出を行いました。(参考:IPC-TM-650)
イオンクロマトグラフおよびICP-MSを用いることによって、ppbオーダーでの分析が可能です。

陰イオン:F–/Cl–/NO2–/Br–/NO3–/PO43-/SO42-
陽イオン:Li+/Na+/Mg2+/K+/Ca2+

Result

サンプル:有機溶媒で洗浄した金属部品と汚染した金属部品
陰イオン:イオンクロマトグラフ
陽イオン:ICP-MS

検出されたすべてのイオンについて汚染部品における値が高くなりました。
このように、清浄・洗浄効果の確認をすることが可能です。

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