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クリーンベンチ内での微量異物分析

関連キーワード
FT-IR(フーリエ変換赤外分光光度計)
汚染・コンタミ分析
異物分析
走査電子顕微鏡(SEM)
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)

Introduction

製品の加工・洗浄・保管時に残留する各種微量異物の定性・定量を行います。
水や炭化水素で製品を洗浄し、ろ紙に捕集して重量測定、粒度分布測定、各異物の定性などをします。
溶媒で洗浄後にろ過せず粒度分布測定も可能です。

Application

主に下記用途で使用されます。
・製品1個当たりの異物定量
・回収異物の測長、計数
・回収異物のEDX定性(金属)
・回収異物のFT-IR定性(有機物)

Sample

異物回収作業は、クリーンベンチ(クラス100)で実施します。

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