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金属試料の観察・分析

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X線CT観察装置
X線透過観察装置
イオンミリング装置
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蛍光X線分析装置(XRF)
走査電子顕微鏡(SEM)
超音波顕微鏡
金属
金属顕微鏡
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)

Introduction

JTLでは、金属材料・金属製試料について様々な評価の受託を実施しております。
そうした評価の中でも表面状態を観察する、組織を観察する、非破壊で内部構造を観察する、表面を分析する、含有量を分析するなどの『観察・分析』に関する対応事例をご紹介致します。

Method

観察、分析前の試料調整
・評価の目的や試料の材質によって、物理的な研磨(エッチング)、イオンミリング(CP加工)、FIB加工などの各種手法から選択致します。
・SUSや鋼材はもちろんのこと、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)のような硬度の高い材料や、非常に膜厚が薄いスパッタ膜などの断面研磨が可能です。

試料表面の元素分析/含有金属の定量分析
・EDX(SEM/FE-SEM)やWDX(EPMA)による試料表面の元素分析により、付着物の分析や合金層の形成状態のマッピングなどの実施が可能です。
・WDX(XRF)やICP-MS、ICP-AES等による含有元素の定量分析により、SUSの材料判別やRoHS規制の環境負荷物質の分析の実施が可能です。

表面、断面の形態観察
・金属顕微鏡、デジタルマイクロスコープ、SEM、FE-SEMなどの観察装置より、試料の表面及び断面の形態観察が可能です。
・倍率は×5~×300,000と幅広い領域をカバーしておりますので、マクロ的な金属組織の観察から、数10nm厚みの薄膜の観察まで様々な用途にご利用いただけます。

X線透過装置、超音波顕微鏡による非破壊での内部構造観察
・X線透過装置、X線CT装置、超音波顕微鏡は試料を破壊することなく内部構造を確認することができ、その撮影データから各種の測長・面積/体積計算を行うことも可能です。
・アルミダイカスト品の内部に発生した巣の分布状態の確認や、部品のASSY品(組み付け品)の勘合部の確認などの実施が可能です。

Result

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