分析サービス

カーエレクトロニクスやライフサイエンスの分析・解析で
研究開発をサポートします。

分析サービス

表面分析装置による受託サービス

EDX/WDX分析装置による表面(表層)の元素分析にご対応します。

表面元素分析装置による分析サービスは、表面元素分析の中でもEDX(エネルギー分散型X線分析法)とWDX(波長分散型X線分析法)による分析を主としています。
分析目的、対象元素、試料状態、試料に与える影響等から分析装置・方法を選択して、ご依頼内容に対して最適なデータを提供致します。
異物の成分分析、未知試料の組成分析、合金層における各元素の分布状態の確認、付着物のカラーマッピング、鋼材の材料判別、有害物質の定量分析など、試料調整(試料の切断・研磨・蒸着等)を含めた各種の元素分析のご対応が可能です。

電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)

FE-EPMA(電界放出型電子プローブマイクロアナライザ)を使用して、SEM像の撮影及びWDX(波長分散型X線分析装置)による元素分析を行います。
EDXによる元素分析よりも定量精度が良く(±数100ppm~数1,000ppm)、汎用型のEPMAよりも分析の空間分解能が良い(サブミクロンオーダー)ことが特徴です。
厚みが数100nmの薄膜の断面分析や、接合部分の微量元素の拡散状態の分析などにご利用いただけます。

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蛍光X線分析装置(XRF)

試料にX線を照射して発生する蛍光X線のエネルギーや強度を解析して得られるスペクトルから元素分析を実施する装置です。
試料室が大きく、EDX(エネルギー分散型X線分析)タイプの為、大型試料や固体、薄膜、粉体、液体など様々な形態の試料を非破壊で分析が可能です。
また、SEM-EDXに比べて重元素に強く、さらに分析領域が広範で深さもあるため、様々な材料分析やめっきの膜厚測定などに有効です。

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