分析サービス

カーエレクトロニクスやライフサイエンスの分析・解析で
研究開発をサポートします。

表面分析装置

蛍光X線分析装置(XRF)による受託サービス

材料分析・異物分析に適した微量元素・軽元素の高感度分析を実施します。

概要

試料にX線を照射して発生する蛍光X線のエネルギーや強度を解析して得られるスペクトルから元素分析を実施する装置です。
試料室が大きく、EDX(エネルギー分散型X線分析)タイプの為、大型試料や固体、薄膜、粉体、液体など様々な形態の試料を非破壊で分析が可能です。
また、SEM-EDXに比べて重元素に強く、さらに分析領域が広範で深さもあるため、様々な材料分析やめっきの膜厚測定などに有効です。

原理

XRFは、物質にX線を照射し、発生する蛍光X線から元素固有のエネルギーを検出し、元素の定性・定量分析を行います。
蛍光X線は、照射したX線が物質の原子の内殻電子を外殻にはじき、空孔となったところに外殻電子が移動する際に発生します。この蛍光X線は、元素固有のエネルギーを持っているので、そのエネルギーから定性を、強度から定量分析ができます。
XRFは、EDXとWDX(波長分散型)があります。EDXは、試料から発生する蛍光X線を直接、半導体検出器で測定します。WDXは、試料から発生した蛍光X線を分光結晶で分光し、検出器で測定します。

特徴

大型試料を非破壊で分析

試料室サイズはW300×D250×H100mm(※4隅R部は除く)と広いため、ある程度の大型試料も切り出すことなく非破壊で分析可能です。

様々な形態の試料を非破壊で分析

固体・薄膜・粉体・液体など各種非破壊で分析致します。

広範なX線照射領域

X線照射領域はφ0.3、1、3、10mmから選択できますので、広範囲を平均的に分析できます。お客様の目的に合わせた最適な結果をご報告致します。

表面凹凸に影響されにくい

WDXタイプは試料表面を平坦に加工する必要がありますが、本サービスではEDXタイプを利用するので多少の凹凸がある試料もそのまま分析が可能です。

非破壊で多層膜厚を測定

SEM-EDXは表層の数μmから発生するX線にて分析をしますが、
ED-XRFは金属なら数十μm、樹脂なら数mmの深さから発生するX線にて分析します。
この性質を利用してED-XRFでは断面サンプルを作らずに非破壊で多層膜を測定できます。

RoHSスクリーニング分析

カドミウム、鉛、水銀、クロム、臭素の5元素に加えて、樹脂中の塩素のスクリーニングにご対応致します。

用途

Cd、Pb、Hg、Cr、Br、樹脂中のClのRoHSスクリーニング分析

めっきの非破壊測定

異物分析

岩石、土壌、セラミックス、焼却灰の粉体分析

様々な材料の主成分分析

設備紹介

  • 島津製作所製

    EDX-7000

    ●所有事業所:本社
    ●所有台数:1台

    ●最大試料寸法:300mm×275mm×100mm(H)(※R部除く)
    ●有効照射径:φ0.3、φ1、φ3、φ10mm
    ●分析元素範囲:Na~U
    ●定量精度:±数1,000ppm
    ●X線管:Rh4~50kV、1~1,000μA

Q&A

定性範囲はどれくらいですか?
真空中ではNa~Uまで、大気中ではAl~Uになります。
分析範囲はどれくらいですか?
φ10、φ3、φ1、φ0.3mmから選択可能です。
分析深さは金属であれば数十μm、樹脂であれば数mm程度になります。
検出限界を教えて下さい。
本サービスは重元素を得意としており、SEM-EDXより飛躍的に小さい数百ppm程度になります。
NaやMgなどの軽元素は%オーダー無いと検出できないことがあります。
試料の状態、形状に制限はありますか?
固体、粉体、薄膜、液体、絶縁体、大型試料を非破壊で分析致します。
また、試料表面に多少の凹凸が有る場合でも未加工で分析可能です。

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