分析サービス

カーエレクトロニクスやライフサイエンスの分析・解析で
研究開発をサポートします。

表面観察

断面観察の受託サービス

試料内部の評価のための断面観察を実施します。

概要

断面観察サービスでは、試料内部の評価のための断面試料作製および観察を行います。
正確な評価のためには精密な断面試料の作製が不可欠です。JTLでは機械研磨、イオンミリング、
ミクロトームを用いて多様な形状・材質の試料の断面作製に対応します。
試料作製後はマイクロスコープ、金属顕微鏡、SEM等を用いて観察を行います。またSEMに付属する
EDXやFE-EPMAにて元素分析を行うことも可能です。
JTLでは、豊富な知識と経験を元に、評価目的に応じた最適な手法を提案いたします。

特徴

評価目的に応じた多様な断面作成手法

①機械研磨
試料を樹脂包埋し、ポリッシャーを用いて研磨を行います。様々なサイズ・形状・材質の試料を研磨するための多彩な工法をご用意しております。
研磨が難し硬い材質(超硬鋼材やセラミック等)も、精密ポリッシャーを用いることで研磨ダレを抑制することが可能です。

②イオンミリング
試料にアルゴンイオンビームを照射してスパッタすることで断面を作製します。高倍率(~10万倍)での観察が可能な精密断面を作製することが可能です。
イオンビームにより断面にエッチングを施すことで、ミクロ金属組織の観察やEBSD(結晶方位解析)を行うこともできます。
熱影響を軽減する冷却加工、大気非暴露加工、広域加工等の特殊加工のための設備も充実しております。

③ミクロトーム
薄膜状の試料や柔らかい材質の試料は、研磨時の応力により変形や剥離が生じるといった問題が発生します。このような試料はミクロトームを用いた切削加工で対応可能です。
また厚さ数μm~数十μmの薄片を作製し、偏光顕微鏡を用いた観察を行うこともできます。

設備紹介

用途

実装基盤のはんだの断面観察

機械研磨で断面を作製し、はんだフィレットの形状の確認や、クラックやボイドの観察を行うことができます。

めっき層の測長および元素分析

イオンミリング加工で精密断面を作製することで、非常に薄いメッキ層の測長が可能です。また各めっき層の元素のマッピング分析を行うこともできます。

研磨断面のダメージ除去

イオンミリング装置のフラットミリングを用いて、機械研磨断面のダメージ除去が可能です。

報告書例

  • 表紙

  • 観察方法・条件

  • 観察結果1

  • 観察結果2

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Q&A

断面作製方法はどのように使い分ければ良いですか?
広範囲のマクロ観察を行う場合は機械研磨、狭い領域を高倍率(1万倍~)で観察・分析する場合はイオンミリングが適しています。
その他、サンプルの形状や材質、評価目的によりますので、まずはご相談ください。

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