計測サービス

製品の精密寸法測定に関わるあらゆるニーズに
受託専門ならではの幅広い知識・設備力で対応します。

非接触測定機

レーザー顕微鏡による受託サービス

短時間でナノレベルを正確に測定することができ、高解像度・高倍率での3D測定を実施します。

概要

従来のレーザー顕微鏡は点でスキャンしているため、測定に時間がかかっておりましたが、JTLのレーザー顕微鏡では面で一気にスキャンをする事が可能な為、最速5秒と短時間での測定が可能です。
また通常の顕微鏡で観察できないような微細なうねりやキズも広範囲かつ高精度で観察することができるので、小さいサンプルの形状比較や高さ、体積測定を行う事にも適しております。

特徴

非接触・非破壊での断面測定が可能

点ではなく面で測定をするので、ワンショットで面全体の形状・うねりを測定することが可能です。
また、非接触・非破壊で測定ができる為、サンプルを傷つけることなく狙った箇所の高精度な形状測定・断面測定を行うことができます。

広範囲での高解像度・高倍率観察

顕微鏡としての役割も果たす為、レーザーによる高解像度スキャンを行い、高倍率の画像を取得する事が可能です。

ナノレベルを正確に測定することが可能

従来の顕微鏡では見えずらいナノレベルの傷やうねりでも、レーザーによる高解像度スキャンにより、解像度の高い画像を取得することができます。また、そのまま3D測定を行う事ができるため確実な解析をすることが可能です。

微小サンプルの粗さ測定、高さ測定が可能

針では触れられない微小な形状変化を読み取ることができるため、あらゆる対象物の粗さを調べることが出来ます。

ガラスなど透明な製品の測定が可能

従来では、光の反射を抑えるために粉末スプレーを振って測定を行っていましたが、レーザー顕微鏡では表面(塗膜の表側)と裏面(下地に密着した側)で、反射光の光量が異なることをもとに表面形状の画像を作成します。それをもとに測定を行うため、製品を汚さずに評価が可能です。

用途

基本測定

体積面積測定、平均段差測定、平面測定をすることが可能です。

表面粗さ測定

JISに対応する線粗さ・複数線粗さ測定により、接触式では測定できなかった素材も可能となりました。また、ISOに則った表面粗さ測定により線粗さでは拾いきれない領域まで評価が可能です。

膜厚・再表面測定

透明体の表面と裏面の両方を認識することで断面形状から膜厚を測定することが可能です。また薄い透明体の再表面のみを正確に測定することも可能となります。

設備紹介

  • キーエンス製

    VK-X1100

    ●総合倍率:~28,800倍
    ●高さ測定:分解能 0.5nm
    測定精度 0.2+L/100μm以下
    ●幅測定:分解能 1nm
    測定精度 測定値の±2%以内
    ●最大積載量:3kg
    ●測定レンズ部:×2.5、×5、×10、×20、Apo×50、Apo×150

Q&A

どれくらいのサイズ・重量まで測定可能ですか?
サンプルサイズ約75mm~170mm、重さ3kgまでの測定に対応しております。
一視野で測定可能な範囲はどれくらいですか?
使用するレンズにより異なります。詳しくは設備紹介をご覧ください。

測定レンズ部
×2.5:675×506μm~7,398×5,545μm
×5:337~253μm~3,699×2,773μm
×10:168~126μm~1,849×1,386μm
×20:84~63μm~924×693μm
Apo×50:33.7~25.2μm~370×277μm
Apo×150:11~8.3μm~123×92μm
測定にかかる時間はどれくらいですか?
ワンショット撮影であれば5秒で測定可能です。(フォーカス測定の場合)
撮影範囲と高さにより測定時間は変わってきます。詳しくはお問い合わせください。
測定精度はどれくらいですか?
高さ測定:0.2+L/100μm以下(L=測定長さμm)
幅測定:測定値の±2%以内
材質・形状などに制限はありますか?
特にはございませんが、透明な素材は観察が不可な場合があります。
詳しくはお問い合わせ下さい。

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