計測サービス

製品の精密寸法測定に関わるあらゆるニーズに
受託専門ならではの幅広い知識・設備力で対応します。

非接触測定機

表面形状測定機による受託サービス

測定対象物の表面性状を高精度・非接触で三次元的に評価致します。

概要

表面形状測定機では、光干渉式の非接触表面形状測定機を用いて製品表面の微細な形状をスキャンし、三次元的な表現と寸法・粗さ測定等の評価を行います。
従来の接触式のプローブによる表面形状測定機では線での情報しか得られませんでしたが、非接触式の光干渉による測定では面での情報をも得ることができ、より視覚的な評価を行うことが可能となりました。
またZ方向分解能が0.01nmと超高分解能であることも特徴の一つで、レーザー顕微鏡でも評価し切れなかった測定領域での代替機としても是非ご利用下さい。

原理

光源(LED)からの複数の波長を含む光が、ビームスプリッタにより測定物表面に向かって進みます。レンズ内のビームスプリッタにより更に二方向の光に分けられた光が、それぞれ参照面、測定物表面から反射し、レンズ内で重なることにより、干渉を起こします。
干渉強度の情報は、高精度CCDカメラにより取得され、独自の高精度アルゴリズムにより干渉情報から0.01nmの分解能で高さ情報へと変換します。
各ピクセルにて得られた高さ情報を用いて3Dマッピングすることにより、表面状態を精密に表現します。

特徴

高精度な分解能

業界トップクラスのZ分解能0.01nm。

様々な種類の測定品に対応

測定ワークの反射率は0.3~100%までと、様々な測定物の表面を測定することが可能。

広範囲測定に対応

一回の測定では測定エリアが足りない場合に、複数面の測定データをつなぎ合わせて解析することができるステッチング機能を搭載。広範囲の測定にも対応。

表面粗さ測定に対応

測定により得られた面情報に対し、任意のラインでの二次元粗さ評価(ISO/JIS規格)が可能。ISO規格化が予定されている三次元パラメータにも対応しており、三次元パラメータ40種類、二次元パラメータ130種類の表面解析が可能。

三次元的な評価に対応

面積・体積等の三次元パラメータ評価解析も可能。

用途

はんだボール部(球面形状)

最大高低差2.2mmの範囲まで1視野での測定が可能です。

5μm高さ基準片(スリット形状)

基準片を使用してのトレーサビリティ確認。

透明プラスチック定規の印字部(スリット形状)

ステッチング機能を使用して広範囲(7×3mm)の測定を実施。透明な測定物の測定にも対応。

レーザーマーキング部(凹凸形状)

ツールマーク等の微細な形状も正確にトレース。

設備紹介

  • テーラーホブソン製

    タリサーフCCI Lite

    ●分解能:XY方向 0.33μm Z方向 0.01nm
    ●Z方向測定レンジ:2.2mm
    ●表面反射率:0.3%~100%
    ●テーブルサイズ:X250×Y150×Z80mm
    ●テーブルストローク:X110×Y75mm
    ●最大積載量:5kg
    ●レンズ仕様:×10、×20、×50(ミラウ式)
    ●所有事業所:大阪

Q&A

どの程度のサイズまで測定可能ですか?
ステージサイズはX250×Y150×Z80(mm)になりますので、これ以下のサイズであれば測定可能です。ただし、実際にステージがストローク可能な範囲はX110×Y75(mm)になります。
重さはどの程度まで対応可能ですか?
最大5kgまでになります。
サイズ・測定箇所に応じてカットもお願いできますか?
切断設備を所有しておりますので、樹脂・金属・セラミック等の様々な測定品のカットが可能です。
一視野で測定可能な範囲はどれぐらいですか?
使用するレンズの倍率によります。以下をご参照下さい。
×10 ・・・ 1.65×1.65mm
×20 ・・・ 0.825×0.825mm
×50 ・・・ 0.33×0.33mm
(※ステッチング機能を用いることで、複数面の測定データをつなぎ合わせて、より広範囲な解析を行うことも可能です。)
ラインプロファイルの座標データ(生データ)をもらうことはできますか?
テキストデータで出力し、お渡しすることが可能です。そのデータを輪郭形状測定機に取り込んで、幅・高さ・角度・R等の測定を行うことも可能です。

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