計測サービス

製品の精密寸法測定に関わるあらゆるニーズに
受託専門ならではの幅広い知識・設備力で対応します。

非接触測定機

3D形状測定機による受託サービス

ワンショットで広範囲の形状・平面度を測り、短時間で正確な3D測定を実施します。

概要

従来の接触式の三次元測定機や輪郭形状測定機では点や線での測定しかできず、面でうねりや反りの解析ができないこと、測定時間がかかるなどの課題点がありました。
3D形状測定機では、非接触式で面全体を測定することが可能なので、一度に全体の形状・平面度・うねりなどを測ることができ、一台で、短時間にあらゆる解析をすることができます。

原理

縞投影光を測定物に向けて斜めに照射すると、光は反射します。
測定物は高低差があるので、反射された光をCOMSセンサで真上から撮影するとステージと測定物間では光の縞画像に歪みが発生していることを確認できます。観測した歪みの量から測定物の高さを測定することが可能で、このような測定方法は三角測距法(光切断法)と呼ばれています。
3D形状測定機では、この原理を応用することで高さや長さなどを測定します。

特徴

一度に大量の情報取得が可能

ワンショットで面全体を測定するので全体の形状・うねりが分かります。また、最高点や最低点など全てを把握した状態で狙ったポイントを自由に測定することも可能です。

短時間での比較評価

一度に断面・体積・面積・平面度・粗さなど多数の測定を行うことができる為、断面サンプルが複数あっても一瞬で同一条件での解析をすることが可能です。
このことから、条件の異なる試作品にどんな違いがあるかを一目で見ることができ、測定時間を大幅に削減することができます。

面の傾き補正や不要な部位を除去した評価

製品の任意での面や固定面での補正をすることができるので、連結でもバラつかない測定が可能です。

ゴムなど製品の変形を気にせず測定が可能

非接触での測定なので、わずかな測定力でも変形してしまうゴムのような弾性体のサンプルでも測定が可能になります。

ガラスなどの透明製品も測定可能

透明なガラスやプラスチック等に対しては、測定光の反射を防ぐために、前処理として表面に粉末スプレーを吹き付けることにより測定を行う事が出来ます。

広範囲の高解像度画像の取得

1回の測定範囲内に収まらない製品でも、複数枚の画像を測定後、連結することで1枚の画像にすることができ、広い領域での測定、3D解析も可能になります。

用途

プロファイル測定

面データを用いて、高さ・幅・角度・Rを自由に測ることができます。

面測定

面で測定することができるので、うねり評価や、面と面の段差測定をすることも可能です。

平面測定

2点間の距離や直線間の距離や円心間の距離など、様々な平面の測定に対応します。
画面を見ながら、点の高さも測定可能です。

設備紹介

  • キーエンス製

    VR-3200

    ●測定範囲:
      広視野モード 12× 横24.0mm縦18.0mm、25× 横12.0mm縦9.0mm、
             38× 横8.0mm縦6.0mm、50× 横6.0mm縦4.5mm
      高倍率モード 40× 横7.6mm縦5.7mm、80× 横3.8mm縦2.9mm、
             120× 横2.5mm縦1.9mm、160× 横1.9mm縦1.4mm
    ●測定可能高さ:
      広視野モード ±5mm
      高倍率モード ±0.5mm
    ●繰返し測定精度(σ):
      高さ測定 0.5µm
      幅測定 広視野モード1µm、高倍率モード0.5µm
    ●測定精度:
      高さ測定 ±3µm
      幅測定 広視野モード±5µm、高倍率モード±2µm
    ●ステージ:
      XYストローク 184mm×88mm
      Zストローク 90mm(最大積載高さ188mm)
    ●最大積載量:3kg

Q&A

どれくらいのサイズ・重量まで測定が可能ですか?
サンプルサイズ約75mm~170mm、重さ3kgまでの測定に対応しております。
一視野で測定可能な範囲はどれぐらいですか?
使用するモードにより異なります。詳しくは設備紹介をご覧ください。

広視野モード:横(H):mm 6.0~24.0 縦(V)mm:1.9~7.6
高倍率モード:横(H):mm 4.5~18.0 縦(V)mm:1.4~5.7
測定にかかる時間はどれくらいですか?
通常、直径60mmのサンプルを図る場合は約6秒、ファインモードの場合は約30秒かかります。
測定精度はどれくらいですか?
広視野モードは±5µm、高倍率モード:±2µmになります。
材質・形状などに制限はありますか?
特にはございませんが、透明な素材にはスプレーを噴射する必要があります。
詳しくはお問合せ下さい。

このページに関するお問い合わせ・お見積り

お問合わせ

PAGE TOP