計測領域

製品の精密寸法測定に関わるあらゆるニーズに受託専門ならではの幅広い知識・設備力で対応します。

精密⼨法測定サービス

表面形状測定

測定対象物の表面性状を高精度・非接触で三次元的に評価します。

概要

表面形状測定機では、光干渉式の非接触表面形状測定機を用いて製品表面の微細な形状をスキャンし、寸法・粗さなどを評価します。従来の接触式のプローブによる表面形状測定機では線での情報しか得られませんでしたが、非接触式の光干渉による測定では面での情報も得ることができ、より視覚的な評価を行うことが可能となりました。
また、Z方向分解能が0.01nmと超高分解能であるため、レーザー顕微鏡の代替機としてもご活用いただけます。

原理

光源(LED)からの複数の波長を含む光が、ビームスプリッタにより測定物表面に向かって進みます。レンズ内のビームスプリッタにより更に二方向の光に分けられた光が、それぞれ参照面、測定物表面から反射し、レンズ内で重なることにより、干渉を起こします。干渉強度の情報は、高精度CCDカメラにより取得され、独自の高精度アルゴリズムにより干渉情報から0.01nmの分解能で高さ情報へと変換します。各ピクセルにて得られた高さ情報を用いて3Dマッピングすることにより、表面状態を精密に表現します。

特徴

高精度な分解能

業界トップクラスのZ分解能0.01nm。

様々な種類の測定品に対応

測定ワークの反射率は0.3~100%までと、様々な測定物の表面を測定することが可能です。

広範囲測定に対応

一視野で測定可能な範囲は、使用するレンズの倍率により異なります。以下をご参照下さい。
×10 ・・・ 1.65×1.65mm
×20 ・・・ 0.825×0.825mm
×50 ・・・ 0.33×0.33mm

一視野の測定では測定エリアが足りない場合に、複数面の測定データをつなぎ合わせて解析することができるステッチング機能を搭載しています。広範囲の測定にも対応します。

表面粗さ測定に対応

測定により得られた面情報に対し、任意のラインでの二次元粗さ評価(ISO/JIS規格2001)が可能です。
ISO規格化が予定されている三次元パラメータにも対応しているため、三次元パラメータ40種類、二次元パラメータ130種類の表面解析が可能です。

三次元的な評価に対応

面積・体積などの三次元パラメータ評価解析が可能です。

技術事例

形状評価

表面形状を視覚的に評価します。
ツールマークなどの微細な形状も正確にトレース可能です。
一視野に収まらない場合でも、ステッチング機能を使用して広範囲の測定ができます。

ラインプロファイルの座標データ

テキストデータで出力し、ご提供可能です。
上記データを輪郭形状測定機に取り込み、幅・高さ・角度・Rなどの測定も可能です。

設備ラインナップ

  • テーラーホブソン製

    タリサーフCCI Lite

    ●分解能:XY方向 0.33μm Z方向 0.01nm
    ●Z方向測定レンジ:2.2mm
    ●表面反射率:0.3%~100%
    ●テーブルサイズ:X250×Y150×Z80mm
    ●テーブルストローク:X110×Y75mm
    ●最大積載量:5kg
    ●レンズ仕様:×10、×20、×50(ミラウ式)
    ●所有事業所:大阪

Q&A

Q.どのくらいのサイズ・重量まで測定可能ですか?

A.ステージサイズはX250×Y150×Z80(mm)のため、ステージサイズ内であれば測定可能です。ただし、ストローク可能な範囲はX110×Y75(mm)です。最大5kgまでの測定に対応しています。

Q.ラインプロファイルの座標データ(生データ)をもらうことはできますか?

A.テキストデータで出力し、お渡しすることが可能です。そのデータを輪郭形状測定機に取り込んで、幅・高さ・角度・R等の測定を行うことも可能です。

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