受託計測
製品の精密寸法測定に関わるあらゆるニーズに受託専門ならではの幅広い知識・設備力で対応します。
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高精度・非接触の表面性状測定の委託先にお困りではありませんか？
JTLは総合受託会社として、白色干渉式表面形状測定機を用いて、製品表面の微細な形状をスキャンし、形状・粗さなどを評価します。従来の接触式のプローブによる表面形状測定機では線での情報しか得られませんでしたが、非接触式の光干渉による測定では面での情報を得ることができ、より視覚的な評価を行うことが可能となりました。また、Z方向に特化した高分解能0.01nm、高指示精度を備えており、レーザー顕微鏡よりも高精度に垂直方向を評価することが可能です。
外部委託先・試験場をお探しの方は是非ご依頼ください。
技術担当者の多くは国家資格である「機械検査技能士」を保有しており、
高い品質と柔軟性に富んだサービスを提案します。
白色干渉の原理にて測定します。
光源（白色LED）から出た光が対物レンズ内で２つの光に分けられ、一方の光は測定物表面で反射し、もう一方の光は参照ミラーで反射します。
２つのが同一光路へと戻り、重なり合う際に干渉縞が発生するので、干渉縞輝度が最大となる位置を測定機内のCMOSで取得、各Zスケールの位置情報から３Dデータを生成することで表面状態を精密に測定します。
白色干渉により、非接触かつ短時間でワークの面全体を三次元的に測定・解析します。
試料の表面を傷つけることなく、微小な凹凸を測定することが可能です。
業界トップクラスのZ分解能0.01nmで、ナノ表面性状の評価が可能です。
防風カバーやアクティブ除振台が備え付けられているため、
微細な振動や空気の流れなど外的環境による影響を抑え、高精度で測定を行うことが可能です。
設置ワーク最大サイズφ300mm（XYステージサイズ：200×200mm）、
最大ワーク高さ159mm、対応可能重量10㎏まで対応可能です。
様々なワークの表面を精密に測定することが可能です。
・ゴム、カーボンのような柔らかい樹脂の表面
・半導体やシリコンウェハーなどの研磨面
・金属加工面
・ガラスやレンズなどの光沢面や透明体の表面
・鏡面
・レジスト膜、UV硬化樹脂、有機膜等の特定の波長で変質する素材の表面
測定により得られた面情報に対し、任意範囲での線粗さ評価（二次元）、および表面粗さ評価（三次元）が可能です。
各粗さ測定はISO＆JISに対応しており、規格に準拠したパラメータでの解析を行うことができます。
（線粗さ：ISO4287 & JIS B0601、面粗さ：ISO25178 & JIS B0681）
一視野で測定可能な範囲は、使用するレンズの倍率により異なります。以下をご参照下さい。
＜Opt-scope＞
×5 ・・・ 3.40×3.40mm
×10 ・・・ 1.70×1.70mm
×20 ・・・ 0.75×0.75mm
×50 ・・・ 0.30×0.30mm
×100 ・・・ 0.13×0.13mm
＜CCI＞
×10 ・・・ 1.65×1.65mm
×20 ・・・ 0.825×0.825mm
×50 ・・・ 0.33×0.33mm
一視野に収まらない場合でも、ステッチング機能を使用して複数面の測定データをつなぎ合わせることで、広範囲の測定も可能になります。
表面形状を視覚的に評価します。
ツールマークなどの微細な形状も正確にトレース可能です。
Ra、Rｐ、Rz等の線粗さの評価が非接触にて測定可能です。
Sa、Sp、Sz等の面全体の粗さ、うねり評価が非接触にて測定可能です。
粒子のサイズや指定した閾値からの粒子の個数、面積、体積の算出が可能です。
東京精密製
●垂直分解能： 0.01nm
●Z軸指示精度：0.1+|H/1000|μm（H：測定高さ μm)※形状測定時
●Z方向走査範囲：20mm
●テーブルサイズ：X230×Y230×Z60.5mm
●テーブルストローク：X100×Y100mm
●最大積載量：10kg
●レンズ：×5、×10、×20、×50、×100（白色干渉方式）
●所有事業所：名古屋事業所
テーラーホブソン製
●分解能：XY方向 0.33μm Z方向 0.01nm
●Z方向測定レンジ：2.2mm
●表面反射率：0.3～100％
●テーブルサイズ：X250×Y150×Z80mm
●テーブルストローク：X110×Y75mm
●最大積載量：5kg
●レンズ：×10、×20、×50 (ミラウ式)
●所有事業所：大阪事業所
Q.どのくらいのサイズ・重量まで測定可能ですか？
A.Opt-scopeはステージサイズが230×230(mm）となります。
最大10kgまでの測定に対応しています。
CCIはステージサイズはX250×Y150×Z80（mm）のため、ステージサイズ内であれば測定可能です。ただし、ストローク可能な範囲はX110×Y75（mm）です。最大5kgまでの測定に対応しています。
Q.トレーサビリティ体系図や校正証明書の提出は可能ですか？
A.可能です。国家標準につながるトレーサビリティ体系に基づいた、メーカー校正の証明書と測定結果を発行可能です。
Q.どのようなデータがもらえますか？
A.粗さや形状、うねりなどの解析結果とグラフィック、3Dデータ（stl）でのお渡しが可能です。
解析したラインプロファイルの座標データもtxt形式にて出力可能です。
Q.鏡面や透明な材質も測定可能ですか？
A.基本的には測定可能ですが、サンプルの状態によっても異なりますので、一度ご相談ください。
Q.広視野での測定は可能ですか？
A.可能です。一視野に収まらない場合でも、ステッチング機能を使用して複数面の測定データをつなぎ合わせて解析します。
評価業務にお困り事はございませんか？
JTLはお客様の頼れるパートナーとして、
シチュエーションに応じた迅速丁寧な対応を心がけております。
どんな些細なことでも構いませんので、
まずは下記のメールフォームよりお気軽にお問い合わせください。
