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2023.09.28
技術ブログ
この度「高精度・非接触三次元 表面粗さ測定機」Opt-scopeを導入しました。
これまで測定が難しかった広範囲の微細形状や表面粗さ、表面性状を高精度かつ短時間にて測定します。
本機は白色干渉顕微鏡となりますが、
その特徴として対物レンズの倍率に依存しない垂直（Z軸）方向能の高分解能と高再現性が優れている点があります。
これにより従来よりも広い範囲を短時間にて精密に測定することが可能となりました。
また白色光を用いた非接触測定なので、キズを付けたくない製品の計測にも効果的です。
測定対象も高反射～低反射のワークや透明体表面まで観察可能と種類を選びません。
【評価事例】
・ウェハー表面のキズ・欠陥調査
・精度要求の高いレンズやガラスなどの形状や平面測定
・気密性が求められるガスケットやOリングの表面性状測定
・ベアリング摺動面の表面粗さ測定
とにかく高さ方向の能力に特化した測定機となっており、
垂直方向の段差、表面粗さ計測において高い信頼性があります。
・垂直分解能0.01nm
・Z軸指示精度：0.1+|H/1000|μm
・段差繰り返し精度 1σ：0.1％
▼ 測定事例① 段差標準片を用いた精度検証
測定サンプル 段差標準片【校正値：1.96μm】
Opt-scope実測値：平均1.965μm （レンジ1.955～1.978μm）
誤差値 0.005μm
またアクティブ除振台と専用の防風カバーにより、
測定精度に影響を与える微細な振動や空気の流れといった外的要因を抑えた状態での高精度測定が可能です。
フルラインナップとなる豊富な対物レンズを取り揃えていますので、
サンプルに合わせた倍率と測定視野を選択することで幅広く計測することが可能です。
W.D.（作動距離）も最大9.3mmと長距離に対応しており、
凹み形状や部品の組み付いた基盤など段差のあるサンプルでも測定可能です。
測定により得られた面情報に対し、任意断面での二次元線粗さ評価、および三次元表面粗さ評価が可能です。
国際標準であるISO25178 -2、 JIS B 0681-2三次元表面性状パラメータに準拠し、規格に基づいた解析を行うことができます。
▼ 測定事例② オプチカルフラット 三次元表面粗さ計測
測定サンプル オプチカルフラット2級【平面度0.1μm】
Opt-scope実測値：Sa 0.001μm（算術平均高さ）
Sz 0.066μm（最大高さ）
今後もOpt-scopeの機能や事例などをご紹介していきます。
Opt-scopeの導入によって、ナノ～マイクロ領域における形状や粗さ測定において高精度な測定が可能となりました。
弊社では様々なご要望にお応えできるよう、
多くの種類の接触式測定機・非接触式測定機・X線CT装置を保有しております。
お困りの際はお気軽にご相談ください。
設備詳細ページ
表面性状測定
キーワード
表面性状測定、表面粗さ測定、高精度表面粗さ測定、Opt-scope
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