計測領域

製品の精密寸法測定に関わるあらゆるニーズに受託専門ならではの幅広い知識・設備力で対応します。

精密⼨法測定サービス

3D形状測定

ワンショットで広範囲の形状・平面度を測り、短時間で正確な3D測定を実施します。

概要

従来の接触式の三次元測定機や輪郭形状測定機では点や線での測定しかできず、面でうねりや反りの解析ができないこと、測定時間がかかるなどの課題点がありました。3D形状測定機では、非接触式で面全体を測定することが可能なため、一度に全体の形状・平面度・うねりなどを測ることができ、一台で、短時間にあらゆる解析をすることが可能です。

3D形状測定.gif

原理

縞投影光を測定物に向けて斜めに照射すると、光は反射します。測定物は高低差があるので、反射された光をCOMSセンサで真上から撮影するとステージと測定物間では光の縞画像に歪みが発生していることを確認できます。観測した歪みの量から測定物の高さを測定することが可能で、このような測定方法は三角測距法(光切断法)と呼ばれています。

3D形状測定機では、この原理を応用することで高さや長さなどを測定します。

3D shape_principle_2.jpg

特徴

ワンショットで複数の情報取得が可能

面全体を測定するため、全体の形状・うねりが評価可能です。また、最高点や最低点など全てを把握した状態で狙ったポイントを自由に測定することができます。

短時間での比較評価

一度に断面・体積・面積・平面度・粗さなど多数の測定を行うことができるため、測定時間短縮に貢献できます。また、複数サンプルを同一条件で解析することで比較評価がしやすくなります。

広範囲の高解像度画像の取得

1回の測定範囲内に収まらない製品でも、複数枚の画像を測定後、連結することで1枚の画像にすることができ、広い領域での測定、3D解析が可能です。また、面の傾き補正や不要な部位を除去した評価ができるため、連結をしてもバラつきを小さく評価することができます。

製品変形の影響なく測定が可能

非接触での測定のため、わずかな測定力でも変形してしまうゴムのような弾性体のサンプルでも測定が可能です。

透明製品の測定が可能

ガラスやプラスチックなどの透明の製品は、測定光の反射を防ぐために、前処理として表面に粉末スプレーを吹き付けることにより測定することが可能です。

技術事例

プロファイル測定

面データを用いて、高さ・幅・角度・Rを自由に測ることが可能です。

面測定

面で測定できるため、うねり評価や、面と面の段差測定をすることが可能です。

平面測定

2点間の距離・直線間の距離・円心間の距離など、様々な平面の測定に対応します。点の高さも画面上で確認することが可能です。

設備ラインナップ

  • キーエンス製

    VR-3200

    ●測定範囲:
    【広視野モード】
    12×横24.0mm縦18.0mm、25×横12.0mm縦9.0mm、
    38×横8.0mm縦6.0mm、50×横6.0mm縦4.5mm
    【高倍率モード】
    40×横7.6mm縦5.7mm、80×横3.8mm縦2.9mm、
    120×横2.5mm縦1.9mm、160×横1.9mm縦1.4mm
    ●測定可能高さ:
    【広視野モード】±5mm
    【高倍率モード】±0.5mm
    ●繰返し測定精度(σ):
    高さ測定 0.5µm
    幅測定 広視野モード1µm、高倍率モード0.5µm
    ●測定精度:
    高さ測定 ±3µm
    幅測定 広視野モード±5µm、高倍率モード±2µm
    ●ステージ:
    XYストローク  184mm×88mm
    Zストローク  90mm(最大積載高さ188mm)
    ●最大積載量:3kg
    ●所有事業所:本社

Q&A

Q.どれくらいのサイズ・重量まで測定が可能ですか?

A.サンプルサイズ約75mm~170mm、重さ3kgまでの測定に対応しています。

Q.一視野で測定可能な範囲はどれくらいですか?

A.使用するモードにより異なります。詳しくは設備紹介をご覧ください。
・広視野モード:横(H)6.0mm~24.0mm / 縦(V)1.9mm~7.6mm
・高倍率モード:横(H)4.5mm~18.0mm / 縦(V)1.4mm~5.7mm

Q.測定精度はどれくらいですか?

A.広視野モードは±5µm、高倍率モードは±2µmです。

Q.測定にかかる時間はどれくらいですか?

A.通常、直径60mmのサンプルを測る場合は約6秒、ファインモードの場合は約30秒かかります。

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