計測領域

製品の精密寸法測定に関わるあらゆるニーズに受託専門ならではの幅広い知識・設備力で対応します。

精密⼨法測定サービス

レーザー顕微鏡

短時間でナノレベルを正確に測定することができ、高解像度・高倍率での3D測定を実施します。

概要

従来のレーザー顕微鏡は、点でスキャンしているため測定に時間がかかっていましたが、当社保有のレーザー顕微鏡では、面でスキャンすることができるため、最速5秒と短時間での測定が可能です。また、通常の顕微鏡で観察できないような微細なうねりやキズも広範囲かつ高精度で観察することができるため、小さいサンプルの形状比較や高さ、体積測定にも適しています。

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特徴

非接触・非破壊での断面測定が可能

点ではなく面で測定するため、ワンショットで面全体の形状・うねりを測定することができます。また、非接触・非破壊で測定ができるため、サンプルを傷つけることなく狙った箇所の高精度な形状測定・断面測定が可能です。

広範囲での高解像度・高倍率観察

顕微鏡としての役割も果たすため、レーザーによる高解像度スキャンを行い、高倍率の画像を取得することが可能です。
※一視野で測定可能な範囲は、使用するレンズの倍率により異なります。以下をご参照下さい。

〈測定可能範囲〉
 ×2.5 : 675×506μm~7,398×5,545μm
 ×5 : 337~253μm~3,699×2,773μm
 ×10 : 168~126μm~1,849×1,386μm
 ×20 : 84~63μm~924×693μm
 Apo×50 : 33.7~25.2μm~370×277μm
 Apo×150 : 11~8.3μm~123×92μm

ナノレベルを正確に測定することが可能

従来の顕微鏡では見えづらいナノレベルの傷やうねりでも、レーザースキャンにより、高解像度での画像取得ができます。また、情報取得後にそのまま3D測定ができるため、確実な解析をすることが可能です。

微小サンプルの粗さ測定、高さ測定が可能

針では触れられない微小な形状変化を読み取ることができるため、あらゆる対象物の粗さ評価が可能です。

ガラスなど透明な製品の測定が可能

従来では光の反射を抑えるために粉末スプレーを振って測定していましたが、レーザー顕微鏡では粉末スプレーを振らずに測定が可能です。表面(塗膜の表側)と裏面(下地に密着した側)で反射光の光量が異なることをもとに、表面形状の画像を作成します。
※透明な素材は観察が不可な場合もございますので、事前にご相談ください。

技術事例

基本測定

体積面積測定、平均段差測定、平面測定をすることが可能です。

表面粗さ測定

JISに対応する線粗さ・複数線粗さ測定により、接触式では測定できなかった素材も可能となりました。また、ISOに則った表面粗さ測定により線粗さでは拾いきれない領域まで評価が可能です。

膜厚・再表面測定

透明体の表面と裏面の両方を認識することで断面形状から膜厚を測定することが可能です。また薄い透明体の再表面のみを正確に測定することも可能です。

観察

設備ラインナップ

  • キーエンス製

    VK-X1100

    ●総合倍率:~28,800倍
    ●高さ測定:分解能 0.5nm
    測定精度 0.2+L/100μm以下
    ●幅測定:分解能 1nm
    測定精度 測定値の±2%以内
    ●測定レンズ部:×2.5、×5、×10、×20、
    Apo×50、Apo×150
    ●最大積載量:3kg
    ●所有事業所:名古屋

Q&A

Q.どれくらいのサイズ・重量まで測定可能ですか?

A.サンプルサイズ約75mm~170mm、重さ3kgまでの測定に対応しています。

Q.測定にかかる時間はどれくらいですか?

A.撮影範囲と高さにより測定時間は変わります。ワンショット撮影であれば、5秒で測定可能です。(フォーカス測定の場合)

Q.測定精度はどれくらいですか?

A.高さ測定は0.2+L/100μm以下(L=測定長さμm)、幅測定は測定値の±2%以内です。

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