薄膜/表面処理　評価サービス

薄膜/表面処理　評価サービス

各種薄膜、コーティング、表面処理に関する試験・分析評価を受託しています。多種多様な表面処理、成膜技術に関する試験・分析評価を通じて、お客様の研究開発を支援します。

概要

表面処理技術は自動車、家電、医療、電子デバイス、建材など多岐にわたる分野で使用され、
その品質や耐久性への要求は年々高まっています。

JTLでは、多種多様な表面処理、成膜技術に関する試験・分析評価を通じて、お客様の研究開発を支援します。

技術事例

積層構造の試料に対して、断面試料作製から断面SEM観察、分析が可能です。
各層の厚み測長や界面、ボイド、結晶サイズの把握ができます。

めっきや酸化被膜といった表面処理の物性や組成を調査します。
結晶構造や組織の観察、マッピング分析により成分の分散状態を確認することが可能です。
また、膜厚の測長にも対応しています。
SEM（走査電子顕微鏡）

白色干渉顕微鏡にて、非接触かつ短時間でワークの面全体を三次元的に測定・解析します。
業界トップクラスのZ分解能0.01nmで、ナノ表面性状の評価が可能です。
・ベアリング摺動面の表面粗さ測定
・レジスト膜、UV硬化樹脂、有機膜等の特定の波長で変質する素材

摺動特性に影響を及ぼす表面テクスチャリング（微細な凹凸）を解析することで、材料表面の機能性評価をします。

ミクロン～ナノスケールの観察により摩耗ダメージの状態や酸化膜・境界膜の有無や微細構造を評価します。

TEM-EDXやXPSを用い酸化被膜の厚みを測定します。

表面処理・膜　特性評価試験
特性	評価項目	試験装置/手法
機械的性質	引張、圧縮、曲げ、せん断	引張圧縮試験（万能試験機）
	クリープ	クリープ試験
	疲労	疲労試験
	硬度	マイクロビッカース、デュロメータ、ロックウェル、ナノインデンター
耐摩耗性	摺動試験	摩擦摩耗試験機
	摺動耐久試験	摩擦摩耗試験機
	摩擦係数測定	摩擦摩耗試験機（スクラッチ試験）
耐熱性	高温高湿試験	恒温恒湿試験機、高加速寿命試験機（HAST）
耐熱性	温度サイクル試験	冷熱衝撃試験、恒温恒湿試験機
耐食性	絶縁破壊	絶縁破壊試験機
	絶縁抵抗	絶縁耐圧試験機
	表面抵抗、体積抵抗	四端子法、二端子法
耐候性	耐候性試験	キセノンウェザーメーター、色差測定、光沢度測定
電気特性	絶縁破壊	絶縁破壊試験機
	絶縁抵抗	絶縁耐圧試験機
	表面抵抗、体積抵抗	四端子法、二端子法
耐薬品性	耐酸性、耐アルカリ性、耐油性、吸水性	塗布試験、浸漬試験

表面処理・膜　各種分析
特性	評価項目	試験装置/手法
物理分析	膜厚測定	SEM/STEM/XPS
	形態観察	SEM/STEM
	元素分析	SEM-EDX/EPMA/STEM-EDX/STEM-EELS
	構造解析	XRR/XPS/AES/EBSD
	比表面積	ガス吸着測定
化学分析	残留油分測定	FT-IR/GC-MS
化学分析	洗浄度測定	ICP

・薄膜の非接触表面粗さ測定
・摩擦摩耗試験前後のメッキ厚測定、異物分析
・コネクタの微摺動試験と酸化被膜評価（膜厚測定、抵抗値測定）
・FT-IRによる洗浄工程変更に伴う残留油分評価
・ペロブスカイト太陽電池多層膜の断面SEM観察
・XRRによるDLCの多層膜構造評価（非破壊評価）
・ナノインデンターによる微小領域や薄膜の硬度測定
・XPS測定による酸化被膜の深さ方向分析
・STEMによる数nm 程度の微小膜厚測定
・XPS測定によるBCN膜の元素組成分析
・FIB　STEMによるALD膜の密着性評価
・シリコンウェハ上薄膜の残留応力測定
・コーティング膜の耐食性試験（塩水噴霧試験）
・薄膜の剥離強度試験：テープ剥離試験/碁盤目剥離試験（クロスカット試験）
・塗装膜の耐候性試験～前後評価（色差、光沢度、くもり度）
・引張試験機を用いた静摩擦係数、動摩擦係数測定（参考規格：JIS K 7125）
・絶縁ワニスの膜厚測定、絶縁性評価（部分放電）

概要